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無掩膜數(shù)字光刻機 MCML-120A采用數(shù)字微鏡 (DMD) 的無掩膜掃描式光刻機，365nm波長 直接從數(shù)字圖形生成光刻圖案，免去制作掩模板的中間過程，支持直接讀取GDSII和BMP文件 全自動化的對焦和套刻，易于使用

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